公開(公告)號 | CN1970831A |
公開(公告)日 | 2007.05.30 |
申請(專利)號 | CN200510126889.9 |
申請日期 | 2005.11.25 |
專利名稱 | 化學(xué)氣相沉積裝置 |
主分類號 | C23C16/00(2006.01)I |
分類號 | C23C16/00(2006.01)I |
分案原申請?zhí)? | |
優(yōu)先權(quán) | |
申請(專利權(quán))人 | 中華映管股份有限公司 |
發(fā)明(設(shè)計)人 | 柯志偉;莊仁吉;范世衡 |
地址 | 中國臺灣臺北市 |
頒證日 | |
國際申請 | |
進入國家日期 | |
專利代理機構(gòu) | 北京市柳沈律師事務(wù)所 |
代理人 | 魏曉剛;李曉舒 |
國省代碼 | 臺灣;TW |
主權(quán)項 | 一種化學(xué)氣相沉積裝置,其包括: 一反應(yīng)器,具有一排氣端; 一防漏伸縮管結(jié)構(gòu),其包括: 一壓縮性本體,具有一波紋管; 一套筒,設(shè)置于該波紋管內(nèi),該套筒的一端連接該反應(yīng)器的排氣端;以及 一墊圈,設(shè)置于該本體的一端;以及 一排氣管,連接于該防漏伸縮管結(jié)構(gòu)的墊圈,用以排出廢氣。 |
摘要 | 化學(xué)氣相沉積裝置,包括一反應(yīng)器、一防漏伸縮管結(jié)構(gòu)以及一排氣管。該防漏伸縮管結(jié)構(gòu)包括一壓縮性本體,一套筒以及一墊圈。該墊圈設(shè)置于該本體的一端,用來連接該排氣管。該套筒設(shè)置于該本體內(nèi),該套筒的一端與該反應(yīng)器相連接,該套筒可避免廢氣直接接觸該本體而殘留于該本體內(nèi)。另外,由于該壓縮性本體以一體成型的方式形成,在廢氣排出的過程中,可避免廢氣自該壓縮性本體中泄漏出,因此可提高制作工藝的質(zhì)量。 |
國際公布 |